測試方法:
1)進行潔凈度測試時,吸風口處的氣溶膠濃度(對于≥0.5μm的粒子)不得小于35000粒/L,當吸風口處不能滿足上述指標時,宜在潔凈工作臺吸風口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。
2)當吸風口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺距操作臺面250 mm的中心處)連續(xù)測試5次,求其平均值。
3)操作區(qū)氣溶膠濃度測試盡量采用大流量(47.2X10-5m3/s(28.3 L /min))塵埃粒子計數(shù)器,也可采用小流量塵埃粒子計數(shù)器,但采樣量不得小于1L。
4)潔凈工作臺吸風口處的氣溶膠濃度測試,需要在測試潔凈工作臺操作區(qū)氣溶膠濃度的時間內(nèi)進行,要測5次以上。
5)當測試時有≥5μm粒子出現(xiàn)時,應進行多次采樣,當其多次出現(xiàn)時,才認為該測試數(shù)值是可靠的。
可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計算:
C=C2/C1×C0
式中:C— 操作區(qū)對比氣溶膠濃度(≥5μm),(粒/L);
C1 — 潔凈工作臺吸風口處≥5μm的氣溶膠濃度平均值,粒/L;
C2 — 潔凈工作臺操作區(qū)≥5μm的氣溶膠濃度平均值,粒/L;
C0— 可比工作環(huán)境中的≥5μm的氣溶膠濃度,取值為350 00粒/L。
使用條件下操作區(qū)的潔凈度
潔凈工作臺在使用條件下,不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少,要按有關規(guī)定進行測試,并按操作區(qū)氣溶膠的實測濃度來評價操作區(qū)的潔凈度。
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